中國科學院微電子所攜手愛發(fā)科共建聯(lián)合實驗室

作者： 2017年06月20日 來源：中國儀表網(wǎng) 瀏覽量：
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【中國儀表網(wǎng)儀表產業(yè)】近日，中國科學院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團聯(lián)合實驗室簽字儀式在中科院微電子所會議室隆重舉行?！　≈锌圃何㈦娮铀L葉甜春，副所長劉新宇，處長王文武，愛發(fā)科集團代表取締役執(zhí)行役員
　　【中國儀表網(wǎng) 儀表產業(yè)】近日，中國科學院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團聯(lián)合實驗室簽字儀式在中科院微電子所會議室隆重舉行。
 

 
　　中科院微電子所所長葉甜春，副所長劉新宇，處長王文武，愛發(fā)科集團代表取締役執(zhí)行役員社長小日向久治，執(zhí)行役員齊藤一也，室長鄒弘綱，愛發(fā)科(蘇州)技術研究開發(fā)有限公司總經理楊秉君等領導以及來半導體領域的各企業(yè)專家包括北京耐威科技、歌爾聲學股份、中芯國際、上海華宏宏力、華潤微電子、中科微機電技術、中科漢天下、華進半導體封裝公司等研究者約50人出席并見證了簽字儀式。
 
　　株式會社ULVAC是以在各領域獲得廣泛應用的真空技術為基礎，以開創(chuàng)精細加工工藝為追求目標的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產品從FPD，電子半導體，太陽電池作用的真空設備到標準零部件，材料及真空鍍膜等業(yè)務。目前在中國已經設立了15家公司，未來在中國的投資還會不斷擴大，在以電子技術和通訊技術為首的包括能源、環(huán)保、運輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域中，株式會社ULVAC以設備生產為中心，提供先進的真空技術產品，優(yōu)質完善的服務，不斷滿足顧客的需求。
 
　　這次成立聯(lián)合實驗室，雙方運用中科院微電子所擁有的微電子器件有關的技術和愛發(fā)科集團擁有的與真空鍍膜設備及工藝技術有關的技術，在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器領域，針對開發(fā)主題共同實施開發(fā)，互相協(xié)助力求其實用化。雙方一致認為，雙方具有非常強的優(yōu)勢互補關系，是充分發(fā)揮雙方各自特長、實現(xiàn)產學研無縫對接、可同時滿足核心技術研究和產業(yè)化需要的最佳途徑。雙方將成立聯(lián)合實驗室，在資源共享、技術開發(fā)、人才交流與培訓等方面進行深入合作，以支持和推動在相關核心技術方面的研究和積累。聯(lián)合實驗室將成為雙方合作的窗口和新技術科研成果的實驗基地。
 
　　聯(lián)合實驗室將利用ULVAC制造 SME-200型濺射設備開展微電子工藝開發(fā)，ULVAC SME-200設備是一款多功能濺射設備，最多可以搭載八個腔室，可針對研究開發(fā)和少量生產用途，在8inch Si基板上進行沉積金屬，氧化物，氮化物薄膜等先進材料，設備可實現(xiàn)全自動搬送、數(shù)據(jù)自動存儲、保證工藝結果穩(wěn)定性等功能。通過利用該設備，雙方將在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器等領域展開工藝研發(fā)合作。
 
　　聯(lián)合實驗室的成立，體現(xiàn)了愛發(fā)科集團大力推進本土化產業(yè)的戰(zhàn)略方針。與中科院微電子所共同合作，針對中國正在大力發(fā)展的電子半導體產業(yè)，提高研發(fā)實力，加快推進前沿技術產業(yè)化，以產學研結合的模式，實施人才與科技創(chuàng)新雙輪驅動戰(zhàn)略，為國內的半導體企業(yè)提供技術支持、工藝驗證的平臺。
 
　　這次簽字儀式的獲得圓滿成功，期待著愛發(fā)科集團與中科院微電子所合作的積極進展結果，將推動中國半導體MEMS傳感器技術實現(xiàn)跨越式發(fā)展。
 
　　(原文標題：微電子所與愛發(fā)科集團聯(lián)合實驗室簽字儀式隆重舉行)
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